半導体製造装置・真空機器用温度センサ

TEMPERATURE SENSORS FOR SEMICONDUCTOR & VACUUM DEVICE

特長

半導体製造装置用温度センサは、各種半導体製造プロセスにおける温度管理に使用される、重要度の高い温度センサです。拡散炉用プロファイル温度センサを始めとする、1000℃ 以上の高温用から、クリーンルームの温度コントロール用センサまで様々なニーズに応える製品を供給できます。真空機器内部で使用できるよう、市販の真空フランジやＯリングにてシールするタイプで、シース熱電対は銀ローにてシールしています。要求される真空度に応じたHeリーク試験にも対応可能です。

拡散炉用プロファイル熱電対

管理された専用のクリーンルームで製造。プロファイル温度センサ専用の温度校正システムを準備。

真空機器用各種シース熱電対

ICF34真空フランジ付　φ0.5シース熱電対

応答速度を重視する場合に最適です。より速い応答を求める場合には、段付き加工も可能で、最小先端外径はφ0.15となります。

ICF34真空フランジ付　φ1.6シース熱電対

一般的に使用される仕様です。最高650℃（Kの場合）まで使用可能です。

ICF34真空フランジ付　φ1.0　2対式シース熱電対

2点以上のシース熱電対の貫通も可能です。また、シース材質も高温用から耐蝕用まで各種選定出来ますので、ご相談下さい。

貫通スリーブ付（Ｏリング）　φ1.0シース熱電対

一般的に使用される仕様です。最高650℃（Kの場合）まで使用可能です。シース材質の他、貫通部の外径はご指定いただければ対応可能です。

付属品等オプション

ICF（コンフラット）フランジ
φ34ICFフランジ外形図

シース熱電対等の温度センサや小形部品の貫通には、φ34ICFフランジが使用されます。外径が小さいため、真空機器への取付が容易です。他の物と一緒に貫通させる場合にはより大きな、φ70,φ114等のサイズがあります。

Ultra-Torr（Swagelok）継ぎ手

シース熱電対をシールするための簡単な継ぎ手で、取り合いはテーパネジ（NPT）です。溶接タイプもあります。シールのため内部にＯリングが装着されています。ボアスルー（BT）タイプを選定する必要があります。

気密端子

シース熱電対端末に気密端子を設け、全体を真空機器内に設置出来るタイプも有ります。
その他、ここに紹介していない仕様の製品も製作可能です。各営業拠点にご相談下さい。

カタログ

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特殊仕様製品

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