AEROHEAT®
AEROHEAT®は当社のMIケーブル製造技術をもとに開発した長寿命で真空での使用に適したヒーターです。
ホットプレートヒーター取付例
セラミック気密端子付ヒーター例
非発熱部付きマイクロヒーター
特長
- 写真のようなパネルヒーターを何枚も組み合わせることにより8Gを超えるような大型ガラス基板でも細やかな温度制御が可能です。
- 半導体製造装置に使用するホットプレートでは早い昇温スピードと均一な温度分布が可能です。
- 端子部にセラミック気密端子を使用することで真空中での電源取り合いが可能です。
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